文献
J-GLOBAL ID:200902053428144528
整理番号:91A0499788
TiB2スパッタ膜の作製と評価
Preparation and characterization of sputtered TiB2 films.
著者 (4件):
ZDANIEWSKI W A
(Engelhard Corp., New Jersey)
,
WU J
(Engelhard Corp., New Jersey)
,
GUJRATHI S C
(Univ. Montreal, Quebec, CAN)
,
OXORN K
(Univ. Montreal, Quebec, CAN)
資料名:
Journal of Materials Research
(Journal of Materials Research)
巻:
6
号:
5
ページ:
1066-1072
発行年:
1991年05月
JST資料番号:
D0987B
ISSN:
0884-2914
CODEN:
JMREEE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)