文献
J-GLOBAL ID:200902053888867790
整理番号:87A0034452
水素化非晶質けい素(a-Si:H)の紫外レーザ光分解堆積の光学的性質
Optical properties of UV laser photolytic deposition of hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H)
著者 (3件):
ZARNANI H
(Colorado State Univ., CO, USA)
,
DEMIRYONT H
(Colorado State Univ., CO, USA)
,
COLLINS G J
(Colorado State Univ., CO, USA)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
60
号:
7
ページ:
2523-2529
発行年:
1986年10月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)