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文献
J-GLOBAL ID：200902054158260993
整理番号：93A0455479
C-N薄膜の成長とキャラクタリゼーション
Growth and characterization of C-N thin films.
CHEN M Y
(Northwestern Univ., IL, USA)
,
LIN X
(Northwestern Univ., IL, USA)
,
DRAVID V P
(Northwestern Univ., IL, USA)
,
CHUNG Y W
(Northwestern Univ., IL, USA)
,
WONG M S
(Northwestern Univ., IL, USA)
,
SPROUL W D
(Northwestern Univ., IL, USA)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 54/55 号： 1/3 Pt 2 ページ： 360-364 発行年： 1992年11月23日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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