文献
J-GLOBAL ID:200902054468689396
整理番号:92A0687623
Polysilicon microgripper.
著者 (4件):
KIM C-J
(Univ. California, CA, USA)
,
PISANO A P
(Univ. California, CA, USA)
,
MULLER R S
(Univ. California, CA, USA)
,
LIM M G
(Xerox Palo Alto Research Center, CA, USA)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
33
号:
3
ページ:
221-227
発行年:
1992年06月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)