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文献
J-GLOBAL ID：200902054761959896
整理番号：86A0529565
レジスト端部のエッチングプロフィル II GaAsを用いるモデルの実験的確認
Etching profiles at resist edges. II. Experimental confirmation of models using GaAs.
NOTTEN P H L
(Philips, The Netherlands)
,
KELLY J J
(Philips, The Netherlands)
,
KUIKEN H K
(Philips, The Netherlands)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 133 号： 6 ページ： 1226-1232 発行年： 1986年06月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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