文献
J-GLOBAL ID:200902055144796420
整理番号:86A0449303
ほう素薄膜の作成と生物試料のエッチングへのイオンビームスパッタリングの応用
Application of ion beam sputtering for a preparation of boron thin film and an etching of biological specimen.
著者 (4件):
MURANAKA Y
(Hamamatsu Univ. School of Medicine)
,
BABA N
(Kogakuin Univ., Tokyo)
,
ADACHI K
(Univ. Tokyo)
,
KANAYA K
(Kogakuin Univ., Tokyo)
資料名:
工学院大学研究報告
(Research Reports of Kogakuin University)
号:
60
ページ:
114-120
発行年:
1986年04月
JST資料番号:
F0169A
ISSN:
0368-5098
CODEN:
KDKHA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)