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文献
J-GLOBAL ID：200902055530798012
整理番号：92A0288936
マイクロ波プラズマCVD法によるC2H2-H2,O2系からのダイヤモンド合成とその発光種
Diamond Synthesis from C2H2-H2, O2 System by Microwave Plasma CVD and Their Optical Emission Spectra from Each Plasmas.
高谷松文
(千葉工大)
,
坂本幸弘
(日本製鋼所 中研)
,
三浦毅
(日本製鋼所 中研)
資料名：
千葉工業大学研究報告 理工編
(Report of Chiba Institute of Technology)
号： 39 ページ： 43-49 発行年： 1992年02月
JST資料番号： G0641A ISSN： 0385-7026 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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