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文献
J-GLOBAL ID：200902055613016296
整理番号：90A0606340
シリコンウエハ上に集積したマイクロ化学分析システム
A micro chemical analyzing system integrated on a silicon wafer.
NAKAGAWA S
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
SHOJI S
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ESASHI M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990
(Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990)
ページ： 89-94 発行年： 1990年
JST資料番号： K19900617 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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