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文献
J-GLOBAL ID:200902055847463890   整理番号:90A0920070

Siウェハのメカノケミカルポリシングに関する研究 (1) BaCO3砥粒による加工特性

The research on the mechanochemical polishing of a Si wafer.(1).Processing characteristics by BaCO3 grit.
著者 (2件):
八田健一
(新日本製鉄)
安永暢男
(新日本製鉄)

資料名:
精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)

巻: 1990  号: Autumn 1  ページ: 315-316  発行年: 1990年09月 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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