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文献
J-GLOBAL ID：200902055847463890
整理番号：90A0920070
Siウェハのメカノケミカルポリシングに関する研究 (1) BaCO3砥粒による加工特性
The research on the mechanochemical polishing of a Si wafer.(1).Processing characteristics by BaCO3 grit.
八田健一
(新日本製鉄)
,
安永暢男
(新日本製鉄)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1990 号： Autumn 1 ページ： 315-316 発行年： 1990年09月
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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