文献
J-GLOBAL ID:200902055897641640
整理番号:87A0069589
空間分解型エリプソメトリ
Spatially resolved ellipsometry.
著者 (2件):
ERMAN M
(Lab. Electronique et de Physique Appliqu<span style=text-decoration:overline>e ́</span>e, Limeil Br<span style=text-decoration:overline>e ́</span>vannes, FRA)
,
THEETEN J B
(Lab. Electronique et de Physique Appliqu<span style=text-decoration:overline>e ́</span>e, Limeil Br<span style=text-decoration:overline>e ́</span>vannes, FRA)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
60
号:
3
ページ:
859-873
発行年:
1986年08月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)