文献
J-GLOBAL ID:200902056034568550
整理番号:86A0237044
keVの電子ビームとCO2またはN2Oの存在下でのアルミニウム面へのサブミクロン幅の酸化物形成
Formation of submicron oxide widths on aluminum in the presence of keV electron beams and CO2 or N2O.
著者 (4件):
PITTS J R
(Solar Energy Research Inst., Colorado)
,
MASSOPUST T P
(Solar Energy Research Inst., Colorado)
,
CZANDERNA A W
(Solar Energy Research Inst., Colorado)
,
KAZMERSKI L L
(Solar Energy Research Inst., Colorado)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
4
号:
2
ページ:
241-243
発行年:
1986年03月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)