文献
J-GLOBAL ID:200902056197399047
整理番号:86A0371370
半導体ウエハおよび技術用平面の平面度試験用干渉計
Semiconductor wafer and technical flat planeness testing interferometer.
著者 (5件):
SCHWIDER J
(Zentralinst. Optik und Spektroskopie, Akademie der Wissenschaften der DDR)
,
BUROW R
(Zentralinst. Optik und Spektroskopie, Akademie der Wissenschaften der DDR)
,
ELSSNER K-E
(Zentralinst. Optik und Spektroskopie, Akademie der Wissenschaften der DDR)
,
GRZANNA J
(Zentralinst. Optik und Spektroskopie, Akademie der Wissenschaften der DDR)
,
SPOLACZYK R
(Zentralinst. Optik und Spektroskopie, Akademie der Wissenschaften der DDR)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
25
号:
7
ページ:
1117-1121
発行年:
1986年04月01日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)