文献
J-GLOBAL ID:200902057432918525
整理番号:83A0099474
高分解三レベルレジスト
High resolution trilevel resist.
著者 (3件):
NAMATSU H
(Musashino Electrical Communication Lab., Tokyo)
,
OZAKI Y
(Musashino Electrical Communication Lab., Tokyo)
,
HIRATA K
(Musashino Electrical Communication Lab., Tokyo)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology
(Journal of Vacuum Science & Technology)
巻:
21
号:
2
ページ:
672-676
発行年:
1982年07月
JST資料番号:
C0789A
ISSN:
0022-5355
CODEN:
JVSTAL
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)