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文献
J-GLOBAL ID：200902057694509901
整理番号：86A0163346
シラン/ヘリウム放電における電子密度と付着率係数の測定
Measurement of the electron density and the attachment rate coefficient in silane/helium discharges.
FLEDDERMANN C B
(Univ. Illinois at Urbana-Champaign)
,
BEBERMAN J H
(Univ. Illinois at Urbana-Champaign)
,
VERDEYEN J T
(Univ. Illinois at Urbana-Champaign)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 58 号： 3 ページ： 1344-1348 発行年： 1985年08月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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