文献
J-GLOBAL ID:200902057783641430
整理番号:92A0225433
SiCに対する光電気化学的伝導性選択エッチングストッパ
Photoelectrochemical conductivity selective etch stops for SiC.
著者 (3件):
SHOR J S
(Columbia Univ., New York)
,
OSGOOD R M
(Columbia Univ., New York)
,
KURTZ A D
(Kulite Semiconductor Products, Inc., New Jersey)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
60
号:
8
ページ:
1001-1003
発行年:
1992年02月24日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)