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J-GLOBAL ID：200902058458925135 整理番号：91A0443345

シリコンの“陰極”プラズマ酸化における種電荷と酸化機構

Species charge and oxidation mechanism in the “cathodic” plasma oxidation of silicon.

著者 (2件)：

ELJABALY K

(North Carolina State Univ., North Carolina)

REISMAN A

(North Carolina State Univ., North Carolina)

資料名：

Journal of the Electrochemical Society (Journal of the Electrochemical Society)

巻： 138 号： 4 ページ： 1071-1076 発行年： 1991年04月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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