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文献
J-GLOBAL ID：200902058460558670
整理番号：92A0153181
圧電素子応用微量液送ポンプの開発
Development of Piezo-electric Element Driven Pump Feeding a Trace of Liquid.
小島吉夫
(日立 機械研)
,
坪内邦良
(日立 機械研)
,
奥沢務
(日立 機械研)
,
高木勇輔
(日立 宇宙技術推進本部)
資料名：
日本機械学会全国大会講演論文集
(日本機械学会全国大会講演会講演論文集)
巻： 69th 号： Pt C ページ： 580-582 発行年： 1991年10月
JST資料番号： X0587A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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