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文献
J-GLOBAL ID：200902059201998170
整理番号：88A0258961
イオン化クラスタビーム堆積とエピタクシー
Ionized cluster beam deposition and epitaxy.
TAKAGI T
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名：
Physics of Thin Films
(Physics of Thin Films)
巻： 13 ページ： 1-58 発行年： 1987年
JST資料番号： A0210A ISSN： 0079-1970 CODEN： PYTFA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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