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文献
J-GLOBAL ID：200902060391705431
整理番号：92A0595974
Anodic bonding for integrated capacitive sensors.
ESASHI M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
URA N
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
MATSUMOTO Y
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 5th ページ： 43-48 発行年： 1992年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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