文献
J-GLOBAL ID:200902061958093382
整理番号:90A0409853
Auger電子分光法およびX線光電子分光法による定量的表面分析における精度,正確さおよび不確定度
Precision, accuracy, and uncertainty in quantitative surface analyses by auger-electron spectroscopy and x-ray photoelectron spectroscopy.
著者 (2件):
POWELL C J
(National Inst. Standards and Technology, Maryland)
,
SEAH M P
(National physical Lab., Middlesex, GBR)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
8
号:
2
ページ:
735-763
発行年:
1990年03月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)