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文献
J-GLOBAL ID：200902062319234338
整理番号：90A0821786
ACリニアモータと転がり案内による超精密位置制御 第3報 超ストロークの高速位置決め
Extra-precision position control by an AC linear motor and a rolling guide.The third report.High-speed positioning of a super stroke.
二見茂
(新技術開発事業団)
,
古谷彰浩
(新技術開発事業団)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1989 号： Autumn 3 ページ： 659-660 発行年： 1989年10月
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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