文献
J-GLOBAL ID:200902062796960636
整理番号:92A0656117
Detection of reactions and changes in thin film morphology using stress measurements.
著者 (3件):
GARDNER D S
(Intel Corp., California)
,
LONGWORTH H P
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
,
FLINN P A
(Intel Corp., California)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
10
号:
4 Pt 2
ページ:
1426-1441
発行年:
1992年07月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)