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文献
J-GLOBAL ID：200902063212708333
整理番号：86A0460450
反応性イオンエッチングおよびスパッタエッチングによるGaAsの表面損傷
Surface damage on GaAs induced by reactive ion etching and sputter etching.
PANG S W
(Massachusetts Inst. Technology)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 133 号： 4 ページ： 784-787 発行年： 1986年04月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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