文献
J-GLOBAL ID:200902063252809450
整理番号:91A0950196
超大規模集積化回路の故障解析への集束イオンビーム技術の応用
Applications of focused ion beam technique to failure analysis of very large scale integrations: A review.
著者 (1件):
NIKAWA K
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
9
号:
5
ページ:
2566-2577
発行年:
1991年09月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)