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文献
J-GLOBAL ID：200902063822184034
整理番号：92A0599176
透明導電膜形成用スパッタリングターゲットの開発(3) 低温成膜用ITOターゲットの開発
Studies on Sputtering Characteristics of ITO Target.
吉村了治
(東ソー)
,
小川展弘
(東ソー)
,
毛利隆
(東ソー)
資料名：
東ソー研究報告
(Tosoh Kenkyu Hokoku)
巻： 36 号： 2 ページ： 153-159 発行年： 1992年07月
JST資料番号： F0529A ISSN： 0914-3106 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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