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文献
J-GLOBAL ID：200902064324834109
整理番号：91A0950208
サブミクロン二次イオン質量分析による微細構造の三次元分析
Three-dimensional analysis of a microstructure by submicron secondary ion mass spectrometry.
SATOH H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
OWARI M
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
NIHEI Y
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 9 号： 5 ページ： 2638-2641 発行年： 1991年09月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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