文献
J-GLOBAL ID:200902065121111507
整理番号:90A0357271
エキシマ・レーザステッパーの照明系
Illumination system of an excimer laser stepper.
著者 (6件):
ICHIHARA Y
(Nikon Corp., Tokyo, JPN)
,
KAWATA S
(Nikon Corp., Tokyo, JPN)
,
HIKIMA I
(Nikon Corp., Tokyo, JPN)
,
HAMATANI M
(Nikon Corp., Tokyo, JPN)
,
KUDOH Y
(Nikon Corp., Tokyo, JPN)
,
TANIMOTO A
(Nikon Corp., Tokyo, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1138
ページ:
137-143
発行年:
1989年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)