文献
J-GLOBAL ID:200902065638729551
整理番号:92A0185465
三次元プロファイルシミュレーションにおけるフォトレジストのバルク像効果
Bulk image effects of photoresist in three-dimensional profile simulation.
著者 (1件):
ISHIZUKA T
(Fuji Research Inst. Corp., Tokyo, JPN)
資料名:
Compel
(Compel)
巻:
10
号:
4
ページ:
389-400
発行年:
1991年12月
JST資料番号:
H0945A
ISSN:
0332-1649
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)