文献
J-GLOBAL ID:200902065902955735
整理番号:90A0638022
集積回路製作技術によるマイクロモータの摩擦の考察
Frictional study of IC-processed micromotors.
著者 (2件):
TAI Y-C
(Univ. California, CA, USA)
,
MULLER R S
(Univ. California, CA, USA)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
21
号:
1/3
ページ:
180-183
発行年:
1990年02月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)