文献
J-GLOBAL ID:200902067101757837
整理番号:86A0237036
Tl2SeAs2Te3カルコゲン化物ガラスのスパッタリング蒸着
Sputter deposition of Tl2SeAs2Te3 chalcogenide glass.
著者 (2件):
VAN DER JAGT A
(Martin Marietta, Maryland)
,
CHEN W
(Martin Marietta, Maryland)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
4
号:
2
ページ:
203-209
発行年:
1986年03月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)