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文献
J-GLOBAL ID：200902067753513999
整理番号：92A0656141
Integration of ferroelectric thin films into nonvolatile memories.
SINHAROY S
(Westinghouse Science & Technology Center, Pennsylvania)
,
BUHAY H
(Westinghouse Science & Technology Center, Pennsylvania)
,
LAMPE D R
(Westinghouse Advanced Technology Division, Maryland)
,
FRANCOMBE M H
(Westinghouse Science & Technology Center, Pennsylvania)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 10 号： 4 Pt 2 ページ： 1554-1561 発行年： 1992年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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