文献
J-GLOBAL ID:200902068694899515
整理番号:83A0379647
ナノメートル以下の範囲での直線変位の絶対測定のための新しい光学干渉計
A new optical interferometer for absolute measurement of linear displacement in the subnanometer range.
著者 (2件):
TANAKA M
(National Research Lab. Metrology, Ibaraki)
,
NAKAYAMA K
(National Research Lab. Metrology, Ibaraki)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻:
22
号:
4
ページ:
L233-L235
発行年:
1983年04月
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)