文献
J-GLOBAL ID:200902068912243287
整理番号:91A0798352
シリコン中の白金の拡散後の逆U形プロファイルの観察
Observation of inverse U-shaped profiles after platinum diffusion in silicon.
著者 (2件):
ZIMMERMANN H
(Faunhofer-Arbeistgruppe fuer Integrierte Schaltungen, Erlangen, DEU)
,
RYSSEL H
(Faunhofer-Arbeistgruppe fuer Integrierte Schaltungen, Erlangen, DEU)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
59
号:
10
ページ:
1209-1211
発行年:
1991年09月02日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)