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文献
J-GLOBAL ID：200902069209218633
整理番号：81A0101346
ジボランからのTiB2の化学蒸着
The chemical vapor deposition of TiB2 from diborane.
PIERSON H O
(Sandia National Lab., N.M.)
,
MULLENDORE A W
(Sandia National Lab., N.M.)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 72 号： 3 ページ： 511-516 発行年： 1980年10月15日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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