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文献
J-GLOBAL ID：200902069463912728
整理番号：84A0235506
アルミニウムの交流エッチングの幾何学模型
A geometric model of alternating current etching of aluminum.
DE WIT H J
(Philips, The Netherlands)
,
BOOTS H M J
(Philips, The Netherlands)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 54 号： 5 ページ： 2727-2731 発行年： 1983年05月
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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