文献
J-GLOBAL ID:200902069707428190
整理番号:93A0161081
C3H8-SiH4-H2混合ガスからグロー放電によって堆積した水素化炭化けい素の構造的および光学的性質
Structural and optical properties of hydrogenated amorphous silicon carbide deposited by glow discharge from C3H8-SiH4-H2 mixture.
著者 (3件):
PARK J-H
(Korea Advanced Inst. Science and Technology, Taejon, KOR)
,
KWON H-S
(Korea Advanced Inst. Science and Technology, Taejon, KOR)
,
LEE J-Y
(Korea Advanced Inst. Science and Technology, Taejon, KOR)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
72
号:
11
ページ:
5246-5252
発行年:
1992年12月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)