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文献
J-GLOBAL ID：200902073063018731
整理番号：87A0162751
高感度非接触粗さ計の開発
Development of a high resolution sensor for surface roughness.
三井公之
(機械技研)
,
坂井誠
(東京精密)
,
木塚慶次
(岡本工作機械製作所)
,
小沢則光
(機械技研)
,
河野嗣男
(金沢大 工)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 53 号： 2 ページ： 328-333 発行年： 1987年02月
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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