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文献
J-GLOBAL ID:200902073063018731   整理番号:87A0162751

高感度非接触粗さ計の開発

Development of a high resolution sensor for surface roughness.
著者 (5件):
三井公之
(機械技研)
坂井誠
(東京精密)
木塚慶次
(岡本工作機械製作所)
小沢則光
(機械技研)
河野嗣男
(金沢大 工)

資料名:
精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

巻: 53  号:ページ: 328-333  発行年: 1987年02月 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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