文献
J-GLOBAL ID:200902073516925611
整理番号:86A0560707
二次イオン質量分析用の微小焦点走査中性ビーム
A scanned microfocused neutral beam for use in secondary ion mass spectrometry.
著者 (4件):
ECCLES A J
(Univ. Manchester Inst. Science and Technology, United Kingdom)
,
VAN DEN BERG J A
(Univ. Manchester Inst. Science and Technology, United Kingdom)
,
BROWN A
(Univ. Manchester Inst. Science and Technology, United Kingdom)
,
VICKERMAN J C
(Univ. Manchester Inst. Science and Technology, United Kingdom)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
4
号:
4
ページ:
1888-1892
発行年:
1986年07月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)