文献
J-GLOBAL ID:200902074098966922
整理番号:90A0206374
1nm以下の直径をもったシリコンチップの形成
Formation of silicon tips with 〈1 nm radius.
著者 (9件):
MARCUS R B
(Bellcore, New Jersey)
,
RAVI T S
(Bellcore, New Jersey)
,
GMITTER T
(Bellcore, New Jersey)
,
CHIN K
(New Jersey Inst. Technology, New Jersey)
,
LIU D
(New Jersey Inst. Technology, New Jersey)
,
ORVIS W J
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
CIARLO D R
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
HUNT C E
(Univ. California, California)
,
TRUJILLO J
(Univ. California, California)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
56
号:
3
ページ:
236-238
発行年:
1990年01月15日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)