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文献
J-GLOBAL ID：200902074300451530
整理番号：91A0273795
粗引きポンプ内の粒子の取扱い
Handling of particles in forevacuum pumps.
BERGES H-P
(Leybold AG, Cologne, DEU)
,
KUHN M
(Leybold AG, Cologne, DEU)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 41 号： 7/9 ページ： 1828-1832 発行年： 1990年
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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