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文献
J-GLOBAL ID：200902074400223276
整理番号：87A0007905
DCマグネトロンスパッタリングによる薄膜ディスクの異方性に由来する信号波形の変化
Anisotropy induced signal waveform modulation of DC magnetron sputtered thin film disks.
TENG E
(Lin Data Corp., CA, USA)
,
BALLARD N
(Lin Data Corp., CA, USA)
資料名：
IEEE Transactions on Magnetics
(IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 22 号： 5 ページ： 579-581 発行年： 1986年09月
JST資料番号： A0339B ISSN： 0018-9464 CODEN： IEMGAQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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