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文献
J-GLOBAL ID：200902075120842414
整理番号：89A0079743
シリコン上の薄い二酸化けい素の赤外スペクトロスコピー
Infrared spectroscopy of thin silicon dioxide on silicon.
OLSEN J E
(North Carolina State Univ., NC, USA)
,
SHIMURA F
(North Carolina State Univ., NC, USA)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 53 号： 20 ページ： 1934-1936 発行年： 1988年11月14日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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