文献
J-GLOBAL ID:200902075684976011
整理番号:92A0609000
レーザ誘起表面電磁波エッチングによるn-InPの周期的サブミクロンドット構造の作製
Fabrication of Periodic Submicron Dot Structures of N-InP by Laser-Induced Surface Electromagnetic Wave Etching.
著者 (4件):
KUMAGAI H
(Inst. Physical anc Chemical Research, Wako)
,
EZAKI M
(Keio Univ., Yokohama)
,
TOYODA K
(Inst. Physical anc Chemical Research, Wako)
,
OBARA M
(Keio Univ., Yokohama)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻:
31
号:
7B
ページ:
L928-L930
発行年:
1992年07月15日
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)