文献
J-GLOBAL ID:200902076047689420
整理番号:90A0568794
不揮発性メモリ応用のための薄いポリ間誘電体の信頼性研究
Reliability study of thin inter-poly dielectrics for non-volatile memory application.
著者 (8件):
MORI S
(TOSHIBA Corp., Kawasaki, JPN)
,
KANEKO Y
(TOSHIBA Corp., Kawasaki, JPN)
,
ARAI N
(TOSHIBA Microelectronics Corp., Kawasaki, JPN)
,
OHSHIMA Y
(TOSHIBA Corp., Kawasaki, JPN)
,
ARAKI H
(TOSHIBA Corp., Kawasaki, JPN)
,
NARITA K
(TOSHIBA Corp., Kawasaki, JPN)
,
SAKAGAMI E
(TOSHIBA Corp., Kawasaki, JPN)
,
YOSHIKAWA K
(TOSHIBA Corp., Kawasaki, JPN)
資料名:
Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium
(Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium)
巻:
28th
ページ:
132-144
発行年:
1990年
JST資料番号:
A0631A
ISSN:
1541-7026
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)