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文献
J-GLOBAL ID：200902076186723404
整理番号：89A0484695
エッチングおよび薄膜作製用の電子サイクロトロン共鳴マイクロ波放電
Electron cyclotron resonance microwave discharges for etching and thin-film deposition.
ASMUSSEN J
(Michigan State Univ., MI, USA)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 7 号： 3 Pt.1 ページ： 883-893 発行年： 1989年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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