文献
J-GLOBAL ID:200902076782585582
整理番号:92A0112892
Grazing Internal Reflection法によるSiO2超薄膜の高感度赤外分光
High Sensitivity Infrared Characterization of Ultra Thin SiO2 Film by Grazing Internal Reflection Method.
著者 (5件):
泉谷淳子
(大阪大 基礎工)
,
松井裕一
(大阪大 基礎工)
,
宮川靖雄
(大阪大 基礎工)
,
奥山雅則
(大阪大 基礎工)
,
浜川圭弘
(大阪大 基礎工)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
91
号:
363(SDM91 158-174)
ページ:
75-80
発行年:
1991年12月06日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)