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文献
J-GLOBAL ID：200902077177810856
整理番号：87A0183235
超ミクロ押込み硬さ計とその薄膜への応用
An ultramicro indentation hardness tester and its application to thin films.
YANAGISAWA M
(NEC Corp., Kawasaki, JPN)
,
MOTOMURA Y
(NEC Corp., Kawasaki, JPN)
資料名：
Lubrication Engineering
(Lubrication Engineering)
巻： 43 号： 1 ページ： 52-56 発行年： 1987年01月
JST資料番号： C0445A ISSN： 0024-7154 CODEN： LUENA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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