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文献
J-GLOBAL ID：200902077322142891
整理番号：92A0554687
陽極酸化を使った新しい電極分離技術とSAW交差指トランスデューサへの応用
New Electrode Separation Technology Using Anodic Oxidation and Application to SAW Interdigital Transducers.
YAMANOUCHI K
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
MEGURO T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
MATSUMOTO K
(Hitachi Ltd., Yokohama, JPN)
資料名：
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
(IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻： 39 号： 3 ページ： 447-452 発行年： 1992年05月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0885-3010 CODEN： ITUCER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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