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文献
J-GLOBAL ID：200902077699275594
整理番号：85A0250685
高速精密XYステージ
High speed precision X-Y stage.
REEDS J
(Hughes Research Lab., California)
,
HANSEN S
(Hughes Research Lab., California)
,
OTTO O
(Hughes Research Lab., California)
,
CARROLL A M
(Perkin-Elmer Corp., California)
,
MCCARTHY D J
(Perkin-Elmer Corp., California)
,
RADLEY J
(Perkin-Elmer Corp., California)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 3 号： 1 ページ： 112-116 発行年： 1985年01月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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