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文献
J-GLOBAL ID：200902078079042901
整理番号：90A0122888
磁気光学媒体用水素含有SiCN保護膜
Hydrogen-containing SiCN protective films for magneto-optical media.
MISAKI H
(TOSOH Corp., Kanagawa, JPN)
,
ASANO M
(TOSOH Corp., Kanagawa, JPN)
,
KASAI K
(TOSOH Corp., Kanagawa, JPN)
,
FUKUDA M
(TOSOH Corp., Kanagawa, JPN)
,
IMAMURA N
(TOSOH Corp., Kanagawa, JPN)
資料名：
IEEE Transactions on Magnetics
(IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 25 号： 5 ページ： 4030-4032 発行年： 1989年09月
JST資料番号： A0339B ISSN： 0018-9464 CODEN： IEMGAQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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